想要使咱们P2刻蚀隔离率降下来,实在颇为令人头疼,不过俗话说的好,只要功夫深,铁杵磨成针。经过一系列循序渐进的改善调试,刻蚀隔离率已经在正常条件下达到0.15%以下的水平。这归功于清洗工艺不断地努力,及其他部门的全力配合。
上半年P2隔离不甚理想,经常处在0.3%左右,属于偏高状态。造成偏高的原因有很多,例如片源差异,皮带老化,滚轮过脏,叠片带液等等。几乎每天都会出现批量的皮带印或黑点等问题,而工艺的任务就是分析问题和解决问题。异常的多样性给排查带来了巨大的困难,所以每一次成功的改善都要付出许多艰辛和汗水。
9月22日,刻蚀在制批量皮带印二百片左右。皮带印分为横向皮带印和纵向皮带印,而这次是纵向皮带印,且正面伴有较大的黑点,可以断定是制绒后带液,然后经过高温扩散所致。那么制绒后带液是怎么生成的呢?这个就要具体情况具体分析。
针对这次带液,分析出是碎片导致的。经过调查,制绒机台叠片带液的次数很少,即使出现,作业员也会很熟练地进行隔离。如果没有发现,必然就会出现大量带液片。实际现象表明并没有出现大量带液片,故而排除叠片带液未发现的可能。另外,热风机吹不干的此类情况也可以进行排除,因为若是热风机故障,就会持续带液,可事实并非如此。最后,就剩下碎片带液了。往往作业员看到碎片后,检查一下正面没有液体残留,也就不进行隔离。但下料仍然会有少量带液,且具有一定延迟和持续性,最终造成污染皮带,进而形成批量皮带印。
通过这件批量皮带印事件,我们可以总结出一些经验,以绝后患。首先,要不定时进行作业员强化作业培训,提高警惕、不松懈;其次,不论何种带液一定要严格按照SOP执行,不得偷工减料,否则得不偿失;第三,及时联系设备积极排查机台状况,分析出导致碎片的原因及如何进行后续防范措施;第四,自身提升技能水平更快更好的处理异常点,将损失降到最少。
在日常的工作中,在生产线上,我们总会碰到这样那样的问题,长年累月积累下来,就会积累下许多处理问题的经验,相信在今后的工作中,再接再厉,一定能把刻蚀隔离率降得更低。